X射線熒光光譜儀（X-rayFluorescenceSpectrometer，簡稱：XRF光譜儀），是一種快速的、非破壞式的物質(zhì)測量方法。X射線熒光（X-rayfluorescence，XRF）是用高能量X射線或伽瑪射線轟擊材料時(shí)激發(fā)出的次級X射線。

XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品，樣品中的元素內(nèi)層電子被擊出后，造成核外電子的躍遷，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候，會(huì)放射出特征X光；不同的元素會(huì)放射出各自的特征X光，具有不同的能量或波長特性。

不同元素發(fā)出的特征X射線熒光能量和波長各不相同，因此通過對其的能量或者波長的測量即可知道它是何種元素發(fā)出的，進(jìn)行元素的定性分析。射線強(qiáng)度與相應(yīng)元素在樣品中的含量有關(guān)，因此通過測試其強(qiáng)度實(shí)現(xiàn)元素的定量分析。

檢測器(Detector)接受這些X光，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對應(yīng)的信號。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學(xué)分析，在某種程度上與原子吸收光譜儀實(shí)現(xiàn)互補(bǔ)。